第170章 EUV光刻机？

因为我之前有过对90纳米芯片使用的八英寸晶圆的改良经验，所以提升晶圆的品质以及良品率交给我就行。”

听到林轩的话语，现场许多人纷纷点头表示认可。

确实，八英寸的晶圆相比六英寸的晶圆，最大的差别就是加工环节。

同一时间段里，使用八英寸晶圆生产芯片时能省下很多钱。

如果不计较成本的问题，六英寸的晶圆确实可以用，而且有林轩说过会提升晶圆的品质，这样就更好了。

“所以接下来我们的任务，就是从晶圆切割之后的一系列生产制造问题”

随着林轩的话语落地，现场的人们也再次点点头表示知道。

随后他们纷纷好奇地看着林轩，想看看林轩会怎么安排任务给他们。

不过此时的林轩却没有立马安排任务，毕竟林轩对于现场许多人根本就不了解，怎么能安排任务呢？

所以需要林轩说了一下目前遇到的难题有什么？

他们这些人需要研发什么设备，然后才能根据他们的意愿以及他们擅长什么而安排任科研务。

“芯片的生产有着很多机器，但一些机器目前我们汉唐科技已经在采用一百五十纳米的设备，这种设备改装一下也能勉强够用。”

“因为资金有限，所以我们的科研任务是放在绝对无法采购的核心设备，比如光刻机，刻蚀机，高能离子注入机，……”

顿了一下，林轩轻声接着道：

“其中目前最难的就是光刻机以及刻蚀机，薄膜沉积设备，高能离子注入机。”

“薄膜沉积设备，岛国那边处于世界领先地位，此外我们还必须得攻克薄膜沉积设备使用的化学材料。

刻蚀机方面也是差不多的情况，目前最难的则是光刻机。”

但这时候有人开口说道：

“光刻机其实也不算难，光刻机说到底不过是设备精度与镜头还有扫描曝光系统的问题，在光源上我们的问题不大。

我们大夏有世界领先的激光晶体KBBF，大夏在激光领域也是处于世界领先层次。”

说话的是其中一名年轻的研究生。

大夏许多科技虽然在世人的眼中一直是落后的状态，但其实在一些特殊的领域，特别是军l事领域其实并不弱。

其实关于激光这东西大夏也早有研究，而且还有了自己的独特成果，那就是激光使用的KBBF晶体！

这KBBF晶体可不简单，大夏发明它后可以说立刻站在了世界激光领域的前沿。

其在二零零九年中断KBBF晶体出售后，更是让美迪国的激光研究被迫停止十五年！

直到十五年后，他们才研究出新的激光晶体替代大夏的 KBBF晶体，重新开始激光的大规模研究。

所以大夏的激光技术实际上并不弱，无论是现在还是后世都处于世界领先一流层次。

其中大夏的激光产品销售也是长期达到了全球市场的百分之五十，可以说这是少有的技术领先情况！

“不行， KBBF激光晶体造不了光刻机， KBBF晶体的激光太勐了，射出的激光（EUV）极深紫外光太过锋利。

一不小心就会损坏整个芯片无法使用，除非我们的控制精度与对准成像系统能达到让人惊讶的程度，否则极深紫外光我们绝对无法使用。”

目前市面上的光刻机采用的是紫外光源，紫外光源分为紫外光（EV），深紫外光（DUV），极紫外光（EUV）。

其中光源越到后面波长就越短，光刻的刀也就越锋利，对于精度的控制要求就越高。

所以目前世界上没有光刻机采用极深紫外光（EUV），作为光源制作光刻机。

毕竟以目前几十纳米的制程工艺，也不需要这样高精密的光刻机，目前绝大部分光刻机还是使用紫外光（EV）。

只有最前沿的45纳米制程工艺，才使用EUV之前的深紫外光源，也既是DUV光刻机。

至于更下一步EUV光刻机，那目前更是没有，之所以没有，这是因为目前没有这方面的需求。

当然真实原因是想研发这样的EUV光刻机需要的成本也太高，不下于从零开始设计研发，所以目前市面上并没有这样的EUV光刻机出现。

“没错，光刻机可不容易制造，你可能是其他领域的，所以有些想当然了，光是镜片就能把我们卡死。”

此时人群前排的一个博士，也说出了想造光刻机不容易。

在他看来光刻机最难的就是镜头部分。

光刻机需要的镜面误差十分之小，镜面误差不能大于零点零五微米。

这误差的范围用个形象的比喻，如果把镜面误差比喻成天涯海角岛的话，那么整个天涯海角岛的平整度误差不能大于十毫米！

而最为恐怖的是这样的镜片不只是一个，因为镜片这东西其实是有成像误差的，这成像误差在光刻生产环节的影响十分之严重。

因为偏差一点就会把整个芯片损坏，毕竟那可是几十纳米的大小，光照到了不该照的地方，最后制造成成品时肯定会短路！

所以为了解决成像误差，光刻机就需要非常多的镜片来解决成像误差的问题。

这也是为什么很多昂贵的摄像机或相机的镜头，为什么会那么长。

原因其实和光刻机面临的问题一样，为了解决成像误差的问题，所以相机镜头里面有着非常多的镜片！

这些镜片都是高精度镜片，相互之间精度要求非常之高，所以会出现一个镜头会比相机还贵的现象。

而且别的不说，就说后世的手机镜头模块里面，其实有着五到六片镜片！

而光刻机自然比相机与手机镜头要求高，所以现在的光刻机随着越来越深入几十纳米的层次。

要求越来越高，镜片的数量也越来越多，目前的光刻机镜片已经达到了十六到二十个镜片。

此时的人们不知道的是，在后世能生产几纳米芯片的EUV光刻机镜片已经达到了二十九个！

这也是为什么林轩情愿花费一亿资金，也要把那堪称破烂的凤凰公司收购的原因。

因为这些镜片的要求太过严苛，为了那几个专精于镜面打磨的八级工，林轩也是舍得出一亿的资金把他们买下来！

“我们还是让林轩先生来决定到底怎么样吧。”

人群的前排中，王院士看着隐隐有开始争吵的趋势的诸位博士们与研究生们，他缓缓开口说着。

随着王院士的开口，瞬间，现场陷入了寂静。

随后人们将视线看向了林轩这里，在上千双眼睛的注视下，林轩也是缓缓开口道：

“关于光刻机的问题，我的决定是直接放弃深紫外光（DUV）光刻机，直接研发极深紫外光（EUV）光刻机！

而且EUV光刻机还没有太多公司进入这个领域，在这个领域中也没有太多专利，正好方便我们自由发挥设，设计难度也大幅降低。”

听到林轩的决定，现场顿时有博士摇头不认同直接跳过EUV光刻机，直接研发EUV光刻机这点。

“林先生，虽然因为有 KBBF晶体的原因，我们在光源上有优势。

但镜平还有成像定位系统可是一个难题，而且光刻机的零件性能要求十分之高，精度也十分之高，这种程度的要求我们能造得出来吗？

我不是说设计的问题，而是我们有那个材料，有那个加工精度吗？”

随着那个发出质疑的博士话语，现场陷入了绝对的寂静。

确实，国外为什么比我们先进，原因就是他们除了拥有丰富的工人队伍。

也就是有着庞大的八级工九级工队伍外，他们机器上的精度也十分惊人！

光刻机是一个涉及全领域的东西，它涉及光学，机械，材料，化学等等全方面的领域，被人称呼为工业之花。

许多东西，大夏如果想设计的话也是可以设计出来，但能设计却加工不出来啊！

虽然有八级工九级工的存在，但八级工与九级工能造几个东西？

这个时候，看着陷入沉默的人们，何秘书也是适时的发话道：

“加工精度上不用担心，因为我们相比“两旦一星”的艰难时期已经有了很大的变化！

虽然我们机器的加工精度不行，但我大夏有着庞大的工人队伍！”

说到这里的何秘书笑着说道：

“这次上面为了攻克45纳米制程工艺也是下狠了心，某位老人还特别发话无论要什么都全力支持，无论是军或民都要全力配合。

所以无论是国l营厂还是军公厂，只要你能设计出来并且你们支付了委托费用，那我都会帮你们打通环节，就算用手工硬堆，也要堆出你的零件！

此外材料问题也不用担心，这次上面也是下狠了心，为了我大夏能将半导体制程工艺推进到45纳米分层次。

只要汉唐科技给钱，某些辛苦收集来的战略材料也是下了狠心打开仓库让你们用，所以材料问题你们不用担心。

只要我们有的我们就立马给你，我们没有的，我们会想方设法地弄给你们！”

听到陈秘书的发言，现场陷入了绝对的寂静！

所有人的眼中都露出了惊骇的眼神，没有想到上面竟然如此重视！